Екеуі деВакуумдық сорғы және компрессорГаз өңдеуге арналған құрылғылар, бірақ олардың жұмыс принциптері мен қолдану аясы әр түрлі.
Вакуумдық сорғының негізгі функциясы - вакуумдық деңгейге жету үшін контейнердегі қысымды азайту үшін реакция камерасынан газды алып тастау. Газ кеңістіктегі сору және сору механизмі арқылы алынады. Вакуумдық сорғылар әдетте зертханаларда, өндірістік және өндірістік алаңдарда қолданылады. Ваферлерде, жабдықтар, дрегингтік жабдықтар, euv литография жабдығы, ион имплантациясы жабдықтары, анықтама және сипаттау жабдықтары және т.б.
Компрессордың функциясы - газды деммен жұту және оны қысу, газдың қысымын көбейтіңіз, газды аз мөлшерде сығыңыз және газдың тығыздығы мен қысымын жоғарылатыңыз. Оның жұмыс принципі газды сору клапаны арқылы қысып, содан кейін қысылған газды газ ыдысына немесе басқа жабдыққа салыңыз. Компрессорлар әдетте өңдеу және өндірістік өрістерде қолданылады. Біз жиі сөйлесетін CDA газын компрессормен қамтамасыз етеді. CDA әртүрлі автоматика құралдары мен клапандарды басқару үшін қолданылады. Жартылай өткізгіш өндіріс үшін CDA өте таза және құрғақ болуы керек. Компрессордың ауа шығысы вафлидің ластануын қамтамасыз ету үшін май, ылғал және басқа бөлшектерді кетіру үшін күрделі сүзу жүйесінен өтуі керек.
Категориялары қандайВакуумдық сорғы және компрессор?
Жартылай өткізгіш жабдықтарда құрғақ сорғылар мен молекулалық сорғылар жиі қолданылады. Құрғақ сорғы вакуумдық сорғыға жатады, ол сұйықтықты жабық немесе салқындату орны ретінде пайдаланбайды, ол майлы бумен ластану мәселесін болдырмайды. Ол әдетте жартылай өткізгіш жабдықтардың қатты вакуумды алуы үшін қолданылады. Молекулалық сорғылар вакуумдық деңгейге жете алады. Құрғақ сорғылар мен молекулалық сорғылар көбінесе жартылай өткізгіш жабдықтарда әр түрлі вакуумдық деңгейлердің қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін қолданылады.
Компрастарға поршеньге, бұранданы, центригал, айналмалы ауа компрессорлары және т.б. бөлуге болады.
Вакуумдық сорғы мен компрессордың әртүрлі конструкциялары мен жұмыс принциптеріне байланысты вакуумдық сорғылар әдетте компрессорларды алмастыра алмайды. Вакуумдық сорғылар газдардың қысымы мен тығыздығын төмендетуі мүмкін, бірақ олар газдарды аз көлемге және одан жоғары қысымға қыса алмайды. Сонымен қатар, вакуумдық сорғылардың жұмысының шектеулі және жұмыс сипаттамаларына байланысты олар аз тығыздық газдары мен төмен қысымды ортаға тиімді сай келеді.
Сондықтан, егер газ аз мөлшерде және одан жоғары қысымға қысылса, компрессорды пайдалану керек. Керісінше, егер газ алу қажет болса, вакуумдық күй қалса, вакуумдық сорғыны пайдалану керек.
Дегенмен екеуі деВакуумдық сорғы және компрессорГаз өңдеуге арналған құрылғылар, жобалау мен жұмыс принципінде үлкен айырмашылықтар бар. Вакуумдық сорғы газдың қысымын және тығыздығын төмендетсе де, ол компрессорды алмастыра алмайды, әсіресе газ аз мөлшерде қысылуы керек және одан жоғары қысымға қысылуы керек.
